Отражательная ионная микроскопия (ОИМ) – метод получения изображения поверхности материала путем регистрации ионов, рассеянных под малыми углами. Для получения качественного изображения методом ОИМ, то есть при использовании скользящих углов падения, необходима
большая глубина фокуса, которой обладает сканирующий ионный гелиевый микроскоп. Большая глубина фокуса данного прибора обеспечивается малым углом сходимости (менее 1 мрад) сфокусированного ионного пучка.
В нашей лаборатории был разработан способ реализации метода ОИМ в гелиевом ионном микроскопе. Для регистрации отраженных ионов применялась конверсия отраженных ионов во вторичные электроны с их последущей регистрацией детектором типа Эверхарта-Торнли.
Данный метод представляется перспективным для исследования морфологии поверхности диэлектрических материалов без применения каких-либо методов компенсации заряда, а также может применяться для количественной оценки малых перепадов высоты. Более подробно метод ОИМ описан в наших работах