Явление увеличения скорости химического травления некоторых веществ при облучении ускоренными ионами может быть использовано как основа технологии получения различных наноструктур. По сути своей такой метод является аналогом литографии, однако имеет ряд особенностей, в частности, одним из преимуществ является уменьшение количества технологических этапов.
В нашей лаборатории экспериментально исследовано влияние облучения ионами гелия на скорость химического травления нитрида и оксида кремния. Подробности представлены в наших работах .
В дальнейшем была показана возможность формирования различных наноструктур, геометрия которых может быть заранее рассчитана на основе данных численного моделирования процесса взаимодействия ионов с веществом. Были получены нанопоры диаметром менее 10 нм в мембране нитрида кремния , а также наноструктуры типа “струна” диаметром менее 20 нм .