Сканирующая электронная микроскопия (СЭМ) – это метод исследования поверхности материалов, основанный на поточечном воздействии сфокусированного электронного пучка и последующей регистрации возбуждаемых сигналов для построения изображения. Регистрируемыми сигналами могут быть вторичные или обратно-рассеянные электроны или электромагнитное излучение. На сегодняшний день сканирующая электронная микроскопия является одним из самых широко применяемых методов экспериментального исследования в физике конденсированного состояния, материаловедении и инженерии. Ниже представлены краткие описания методов исследования, которые могут быть реализованы в СЭМ.
