Токи, наведенные электронным пучком

Метод исследования токов наведенных электронным пучком (electron beam induced current (EBIC)) основан на регистрации тока неравновесных носителей заряда, возбуждаемых электронным пучком СЭМ. При этом регистрируемый сигнал определяется количеством электронов и дырок, вышедших во внешнюю цепь без рекомбинации, что позволяет локализовать области повышенной рекомбинации, связанные с протяженными дефектами. Данный метод является весьма популярным не только для исследования полупроводниковых материалов, но и для анализа работоспособности устройств микроэлектроники.